單晶硅對(duì)石英坩堝的要求
沒有接觸過石英坩堝的人不了解單晶硅的作用,下面我們將介紹單晶硅對(duì)石英坩堝的具體要求:
石英坩堝的幾何尺寸和外觀取決于生產(chǎn)工藝,而純度則由原材料決定。石英坩堝原材料要求純度高、一致性好、粒度分布均勻。只有原材料質(zhì)量好,生產(chǎn)的石英坩堝的質(zhì)量才能得到保證。
有害成分含量高時(shí),會(huì)影響石英坩堝,的融化其耐溫性,出現(xiàn)氣泡、污漬、脫皮等現(xiàn)象,嚴(yán)重影響石英坩堝的品質(zhì)有害元素總含量高,會(huì)出現(xiàn)氣泡、白點(diǎn)等缺陷,導(dǎo)致石英坩堝透明度下降
石英坩堝是拉制單晶硅的消耗容器,每生產(chǎn)一爐單晶硅,就消耗一爐。因?yàn)閱尉Ч枋巧a(chǎn)大規(guī)模集成電路的原材料,所以對(duì)石英坩堝的要求比較嚴(yán)格。